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日立 SU3500掃描電子顯微鏡

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高畫(huà)質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。

通過(guò)高畫(huà)質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實(shí)現(xiàn)了“3 kV加速電壓7 nm分辨率”的電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”
*1、以及更高檢測(cè)效率的 “UVD高靈敏度可變壓力檢測(cè)器”
*1它為觀察和分析提出了新的標(biāo)準(zhǔn)。
*1：自選
特點(diǎn)：
低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高，可更好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
 新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比＊2自動(dòng)功能縮短＊3了大約11秒
具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀的“UVD(高靈敏度可變壓力探測(cè)器)”＊4
具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊4
*2：和日立SEM S-3400N相比
*3：根據(jù)觀察條件的不同，時(shí)間會(huì)有變動(dòng)
*4：自選

項(xiàng)目 描述
二次電子分辨率 3.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm高真空模式)
7.0 nm(加速電壓=3 kV，WD=5 mm高真空模式)
背散射電子分辨率 4.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm低真空模式)
10.0 nm(加速電壓=5 kV，WD=5 mm高真空模式)
放大倍率 5 - 300,000倍(底片倍率＊5）
7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率＊6）
加速電壓 0.3～30kV
可變壓力范圍 6～650Pa
max樣品尺寸 直徑 200 mm
樣品臺(tái) X 0～100mm
Y 0～50mm
Z 5～65mm
R 360°
T -20～90°
可觀察區(qū)域 直徑 130 mm(旋轉(zhuǎn)并用)
max樣品高度 80mm（WD＝10mm）
馬達(dá)臺(tái) 5軸標(biāo)配
電子光學(xué)系統(tǒng) 電子槍 預(yù)對(duì)中的鎢燈絲
物鏡光闌 4孔可動(dòng)光闌
探檢測(cè)器 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測(cè)器
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
EDX分析 WD 10 mm(取出角35°)
圖像顯示 操作系統(tǒng) Windows®7(有更改，恕不另行通知)
圖像顯示模式 全屏模式(1,280 × 960 像素)
小屏模式(800 × 600 像素)
雙圖像顯示(800 × 600 像素)
四屏幕顯示(640 × 480像素)
信號(hào)混合模式
排氣系統(tǒng) 操作 全自動(dòng)排氣
渦輪分子泵 261升/秒 × 1
機(jī)械泵 135 L/min.(162 L/min.，60Hz) × 1
*5：以127 mm × 95 mm(圖像尺寸4" × 5")的顯示尺寸規(guī)定倍率
*6：以345 mm × 259 mm(像素1,280 × 960)的顯示尺寸規(guī)定倍率

 

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