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SFJ-231D型半導(dǎo)體專用氦質(zhì)譜檢漏儀

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性能特點

進口分子泵，干式真空泵，雙銥帶離子源
氣路設(shè)計，較低的顆粒物干擾
自保護功能，防止本底被污染
自動抽空壓力和時間設(shè)定，檢漏效率高
移動式推車，較低的移動噪音
帶故障提示和報警功能
可選無線遙控功能

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